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半导体设备
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从显微镜到光刻机:揭秘极紫外(EUV)光学系统制造的“不可能三角”
📅 2026-04-12
极紫外(EUV)光刻机是现代半导体制造的皇冠,而其核心——EUV光学系统的制造,堪称人类工程学的巅峰。它融合了光学仪器、显微镜与光谱仪技术的极致,却面临着精度、材料与量产的“不可能三角”。本文将深入剖析EUV光学镜片制造的超精密抛光、多层膜沉积、缺陷检测与系统集成四大核心难点,揭示为何这项技术如此昂